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防爆柜（Explosion-proof Cabinet）

无尘椅（Clean Chair）

无尘桌（Clean Desk）

石英炉管运输小车（Quartz Tube Car）

设备维护工具小车（PM Car）

氮气柜（N2 Box）

石英管/石英舟存储柜（Quartz Tube/Boat Stocker）

热电偶存储柜（TC Stocker）

晶圆装载口（Load Port）

自动搬运小车（AIV）

电子货架（E-Rack）

化学液供应系统（CDS（Chemical Dispense System））

酸碱腐蚀清洗机（Acid&Alkali Etcher）

全自动槽式清洗设备（Fully Automated Bench Cleaning System）

8寸及8寸以下全自动槽式湿法工艺制程设备（Fully Automated Wet Bench Process Equipment

半自动晶圆盒/晶舟盒清洗机（Semi-auto FOUP/Cassette/POD Cleaner）

石英炉管烘箱（Quartz Tube Oven）

全自动晶圆盒清洗机（Fully Automated FOUP Cleaner）

零部件烘箱（Parts Oven）

EPI清洗机